Verfahren zum Feineinstellen der wirksamen Arbeitsfunktion einer Gatestruktur in einer Halbleitervorrichtung

EP2750167 Art A1 2. Juli 2014

Anmelder: IMEC 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2750167
Aktenzeichen: EP13151958
Anmeldetag: 18. Januar 2013
Veröffentlichung: 2. Juli 2014
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/28H01L21/311H01L21/768

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: IMEC
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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