Gravurverfahren eines porösen dielektrischen Materials
Anmelder: COMMISSARIAT À L'ÉNERGIE ATOMIQUE ET AUX ÉNERGIES ALTERNATIVES, Centre National de la Recherche Scientifique, Applied Materials, Inc., COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2750169
- Aktenzeichen
- EP13199207
- Anmeldetag
- 20. Dezember 2013
- Veröffentlichung
- 1. Juli 2015
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/02H01L21/311H01L21/768
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- COMMISSARIAT À L'ÉNERGIE ATOMIQUE ET AUX ÉNERGIES ALTERNATIVES
Centre National de la Recherche Scientifique
Applied Materials, Inc.
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES - Land
- 🇫🇷 Frankreich
Französische staatliche Forschungsorganisation mit Sitz in Paris. Betreibt Grundlagen- und angewandte Forschung in nahezu allen wissenschaftlichen Disziplinen über zahlreiche Institute und Labore.
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US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
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Fachgebiete
Hautier IP wurde 1892 gegründet und zählt zu den traditionsreichsten französischen Kanzleien für gewerblichen Rechtsschutz, mit Büros in Grenoble, Nizza, Paris, Marseille und Monaco. Mit strategisch-wirtschaftlichem Ansatz begleitet sie Mandanten bis zum Einheitspatent und gewährt über ihr Programm „Green“ Nachlässe für umweltorientierte Unternehmen.