Verfahren zur Erzeugung von Motiven in einer Antireflex-Dünnschicht
Anmelder: COMMISSARIAT À L'ÉNERGIE ATOMIQUE ET AUX ÉNERGIES ALTERNATIVES, Centre National de la Recherche Scientifique, Université Joseph Fourier - Grenoble, COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES, Universite Joseph Fourier - Grenoble 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2752868
- Aktenzeichen
- EP13199194
- Anmeldetag
- 20. Dezember 2013
- Veröffentlichung
- 9. März 2016
- Erteilung
- 9. März 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/027H01L21/311H01L21/3115H01L21/3213
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- COMMISSARIAT À L'ÉNERGIE ATOMIQUE ET AUX ÉNERGIES ALTERNATIVES
Centre National de la Recherche Scientifique
Université Joseph Fourier - Grenoble
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES
Universite Joseph Fourier - Grenoble - Land
- 🇫🇷 Frankreich
Französische staatliche Forschungsorganisation mit Sitz in Paris. Betreibt Grundlagen- und angewandte Forschung in nahezu allen wissenschaftlichen Disziplinen über zahlreiche Institute und Labore.
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Fachgebiete
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