Lasererzeugte Euv-Plasmaquelle mit Reduzierter Rückstanderzeugung

EP2754213 Art A1 16. Juli 2014

Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2754213
Aktenzeichen
EP12830191
Anmeldetag
6. September 2012
Veröffentlichung
16. Juli 2014
Rechtsraum
EP
IPC
H05G2/00G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Kla-Tencor Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Optik & Fototechnik
Vertreten von
Keane, Paul Fachtna Dublin, Irland
492
Patente gesamt
30
Fachgebiete
16
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung Optik & Fototechnik Nachrichtentechnik & Telekommunikation Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
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