Epitaktischer Siliciumcarbidwafer und Herstellungsverfahren dafür

EP2755228 Art A1 16. Juli 2014

Anmelder: Showa Denko K.K. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2755228
Aktenzeichen: EP12829619
Anmeldetag: 4. September 2012
Veröffentlichung: 16. Juli 2014
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/205C23C16/42C30B25/20C30B29/36H01L21/02C30B25/18H01L29/32// H01L29/04H01L29/16

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Showa Denko K.K.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Showa Denko

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, seit 2023 als Resonac Holdings firmierend. Aktiv in Petrochemie, Elektronikmaterialien, Batteriematerialien sowie Halbleiterchemikalien.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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