Vorrichtungen zur Schichtdickenbestimmung Und/oder zur Bestimmung eines Verschmutzungsgrads eines Bandes

EP2756290 Art B1 30. September 2020

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2756290
Aktenzeichen: EP12745468
Anmeldetag: 2. August 2012
Veröffentlichung: 30. September 2020
Erteilung: 30. September 2020
Rechtsraum: EP
IPC: G01N21/94

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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