Verfahren und Gerät zur Vorhersage der Wachstumsrate Abgeschiedener Verunreinigungen
EP2758981
Art B1
17. Juni 2020
Anmelder: ASML Netherlands B.V., Mapper Lithography IP B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2758981
- Aktenzeichen
- EP12766627
- Anmeldetag
- 19. September 2012
- Veröffentlichung
- 17. Juni 2020
- Erteilung
- 17. Juni 2020
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20H01J37/317H01J37/304G01N33/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- ASML Netherlands B.V.
Mapper Lithography IP B.V. - Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
3.336 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Peters, John Antoine
Veldhoven, Niederlande
167
Patente gesamt
11
Fachgebiete
1
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Schwerpunkte
Weitere Vertreter
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ASML Netherlands B.V
ASML Netherlands B.V · Veldhoven