Interposer-Bilderzeugungssensor für Hochgeschwindigkeits-Bilderfassungs- und Inspektionssysteme

EP2758994 Art B1 12. April 2017

Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2758994
Aktenzeichen
EP12834072
Anmeldetag
19. September 2012
Veröffentlichung
12. April 2017
Erteilung
12. April 2017
Rechtsraum
EP
IPC
H01L27/148H01L27/146G01N21/95H04N5/335H05K13/00H04N5/369
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Kla-Tencor Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908 Patente in unserer Datenbank

Noch Fragen?

Wir helfen Ihnen gerne weiter. Schreiben Sie uns einfach.

Kontakt aufnehmen