Metall und dielektrisch kompatible Zusammensetzung zur Reinigung und Beseitigung von einer Antireflexions-Opferbeschichtung
EP2759881
Art A1
30. Juli 2014
Anmelder: ENTEGRIS INC., Advanced Technology Materials, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2759881
- Aktenzeichen
- EP14162920
- Anmeldetag
- 7. Juni 2006
- Veröffentlichung
- 30. Juli 2014
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/42
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- ENTEGRIS INC.
Advanced Technology Materials, Inc. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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