Teilchenstrahlinstrument mit Vorevakuierungskammer zum Probentransfer

EP2760042 Art A3 26. August 2015

Anmelder: Jeol Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2760042
Aktenzeichen: EP14153074
Anmeldetag: 29. Januar 2014
Veröffentlichung: 26. August 2015
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/18

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Jeol Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JEOL

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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