Verfahren zur Kontinuierlichen Nassätzung eines Strukturierten Substrats

EP2761059 Art A1 6. August 2014

Anmelder: 3M Innovative Properties Company 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2761059
Aktenzeichen: EP12769559
Anmeldetag: 19. September 2012
Veröffentlichung: 6. August 2014
Rechtsraum: EP
IPC: C23F1/02C23F1/08C23F1/46H05K3/06C23F1/30H01L21/3213

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: 3M Innovative Properties Company
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 3M Innovative Properties

US-amerikanische Tochtergesellschaft des Mischkonzerns 3M, verwaltet Patente und geistiges Eigentum für Produkte aus Bereichen Klebetechnik, Materialwissenschaft und Konsumgüter.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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