Nadelkarte für eine Leistungsvorrichtung

EP2762897 Art A1 6. August 2014

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2762897
Aktenzeichen: EP12819684
Anmeldetag: 30. Juli 2012
Veröffentlichung: 6. August 2014
Rechtsraum: EP
IPC: G01R1/06G01R1/067G01R31/26H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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