Wasserstoffpassivierung von Nichtlinearen Optischen Kristallen

EP2764403 Art B1 8. Dezember 2021

Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2764403
Aktenzeichen
EP12838919
Anmeldetag
5. Oktober 2012
Veröffentlichung
8. Dezember 2021
Erteilung
8. Dezember 2021
Rechtsraum
EP
IPC
C30B29/10C30B33/00C30B33/02G01N21/3563G01N21/59G01N21/95G02F1/35// G01N21/35G01N21/84G01N21/88
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Kla-Tencor Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

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