Mit Modulierten Lichtquellen Ausgestattetes Optisches Metrologiewerkzeug

EP2766693 Art B1 2. Dezember 2020

Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2766693
Aktenzeichen
EP12839434
Anmeldetag
11. Oktober 2012
Veröffentlichung
2. Dezember 2020
Erteilung
2. Dezember 2020
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/20G01B11/06
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Kla-Tencor Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
Vertreten von
Coyle, Philip Aidan Dublin, Irland
642
Patente gesamt
34
Fachgebiete
23
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Nachrichtentechnik & Telekommunikation Medizintechnik & Gesundheit Halbleiter & Elektrische Bauelemente Software & Datenverarbeitung Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Fahrzeugtechnik (Automobil, Bahn & Schiff)
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