Trichter und thermische Sprühvorrichtung

EP2774688 Art B1 16. Mai 2018

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2774688
Aktenzeichen: EP14158130
Anmeldetag: 6. März 2014
Veröffentlichung: 16. Mai 2018
Erteilung: 16. Mai 2018
Rechtsraum: EP
IPC: B05B7/14B05B7/16C23C4/02C23C4/12// B05B17/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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