Chemisch-mechanische Planarisierung für wolframhaltige Substrate

EP2779217 Art A2 17. September 2014

Anmelder: AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2779217
Aktenzeichen: EP14158825
Anmeldetag: 11. März 2014
Veröffentlichung: 17. September 2014
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/321C09G1/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Air Products

US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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