Verfahren zur Herstellung ferroelektrischer dünnfilmbildender Zusammensetzungen und Verwendung derselben

EP2784178 Art B1 4. Mai 2016

Anmelder: Mitsubishi Materials Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2784178
Aktenzeichen: EP14155335
Anmeldetag: 17. Februar 2014
Veröffentlichung: 4. Mai 2016
Erteilung: 4. Mai 2016
Rechtsraum: EP
IPC: C23C18/12H01L41/187H01L41/318

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Mitsubishi Materials Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Materials

Japanisches Unternehmen der Mitsubishi-Gruppe mit Sitz in Tokio, tätig in der Verarbeitung von Metallen und Werkstoffen, unter anderem Kupfer, Zement, Hartmetallwerkzeuge und elektronische Materialien.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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