Probeneinführungsvorrichtung und Teilchenstrahlapparat

EP2784797 Art B1 24. Mai 2023

Anmelder: JEOL LTD., JEOL Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2784797
Aktenzeichen: EP14162275
Anmeldetag: 28. März 2014
Veröffentlichung: 24. Mai 2023
Erteilung: 24. Mai 2023
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/18H01J37/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: JEOL LTD.
JEOL Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JEOL

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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