Dünnschicht auf PZT-Basis und Herstellungsverfahren dafür

EP2784804 Art A1 1. Oktober 2014

Anmelder: Mitsubishi Materials Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2784804
Aktenzeichen: EP14155492
Anmeldetag: 18. Februar 2014
Veröffentlichung: 1. Oktober 2014
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/316H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Mitsubishi Materials Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Materials

Japanisches Unternehmen der Mitsubishi-Gruppe mit Sitz in Tokio, tätig in der Verarbeitung von Metallen und Werkstoffen, unter anderem Kupfer, Zement, Hartmetallwerkzeuge und elektronische Materialien.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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