In-situ Trockenreinigungskammer für Frontend-Zeilenherstellung

EP2787099 Art A3 3. Dezember 2014

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2787099
Aktenzeichen: EP14172189
Anmeldetag: 25. Februar 2005
Veröffentlichung: 3. Dezember 2014
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/02C23C16/54H01L21/67H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von