Systeme und Verfahren zur Vorbereitung von Proben für die Überprüfung von Defekten unter der Oberfläche
EP2789008
Art A1
15. Oktober 2014
Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2789008
- Aktenzeichen
- EP12852562
- Anmeldetag
- 28. November 2012
- Veröffentlichung
- 15. Oktober 2014
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/66
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kla-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
1.908 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Coyle, Philip Aidan
Dublin, Irland
642
Patente gesamt
34
Fachgebiete
23
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Weitere Vertreter
-
FRKelly
FRKelly · Dublin