Verfahren zur Herstellung eines Mehrkomponentenfilms

EP2789712 Art B1 25. Januar 2017

Anmelder: Versum Materials US, LLC, AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2789712
Aktenzeichen: EP14164386
Anmeldetag: 11. April 2014
Veröffentlichung: 25. Januar 2017
Erteilung: 25. Januar 2017
Rechtsraum: EP
IPC: H01L45/00C23C16/30C23C16/455

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Versum Materials US, LLC
AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Air Products

US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von