Elektronenbombardierte Ladungsgekoppelte Vorrichtung (ebccd) und Inspektionssysteme mit Ebccd-Detektoren
EP2791961
Art B1
5. Juni 2019
Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2791961
- Aktenzeichen
- EP12857499
- Anmeldetag
- 11. Dezember 2012
- Veröffentlichung
- 5. Juni 2019
- Erteilung
- 5. Juni 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J31/26G01N21/95H01L27/14
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kla-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
1.908 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Coyle, Philip Aidan
Dublin, Irland
642
Patente gesamt
34
Fachgebiete
23
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
FRKelly
FRKelly · Dublin