Verfahren zur Herstellung eines Mos-Stapels auf einem Diamantsubstrat

EP2795668 Art B1 15. November 2017

Anmelder: Centre National de la Recherche Scientifique (C.N.R.S.), Université Joseph Fourier, Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS) 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2795668
Aktenzeichen
EP12816756
Anmeldetag
20. Dezember 2012
Veröffentlichung
15. November 2017
Erteilung
15. November 2017
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/28H01L29/51H01L29/16// H01L29/49
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Centre National de la Recherche Scientifique (C.N.R.S.)
Université Joseph Fourier
Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)

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