Verfahren zur Verwendung isotopenangereicherter Pegel von Dotierungsgaszusammensetzungen in einem Ionenimplantationsverfahren
EP2796590
Art A1
29. Oktober 2014
Anmelder: Praxair Technology, Inc., PRAXAIR TECHNOLOGY, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2796590
- Aktenzeichen
- EP13184609
- Anmeldetag
- 16. September 2013
- Veröffentlichung
- 29. Oktober 2014
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C14/48H01J37/317H01L21/265
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Praxair Technology, Inc.
PRAXAIR TECHNOLOGY, INC. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Praxair Technology
US-amerikanisches Unternehmen im Bereich Industriegase, das Verfahren und Technologien zur Gasproduktion entwickelt, heute Teil des Linde-Konzerns.
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