Vorrichtung und Verfahren zur Oberflächenbearbeitung eines Substrats

EP2802681 Art A2 19. November 2014

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH, Carl Zeiss Microscopy GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2802681
Aktenzeichen: EP13702347
Anmeldetag: 7. Januar 2013
Veröffentlichung: 19. November 2014
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/44G03F7/20G01N21/94C23C16/52H01J37/32H01J49/02H01J49/42

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss Microscopy GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

1.949 Patente in unserer Datenbank

🇩🇪 Carl Zeiss Microscopy GmbH

Deutscher Hersteller von Mikroskopen und Bildgebungssystemen für Forschung und Industrie, Teil der Zeiss-Gruppe.

564 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik

Vertreten von