III-V-Vorrichtung und Herstellungsverfahren dafür

EP2804203 Art A1 19. November 2014

Anmelder: IMEC VZW, IMEC 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2804203
Aktenzeichen
EP13168201
Anmeldetag
17. Mai 2013
Veröffentlichung
19. November 2014
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
IMEC VZW
IMEC
Land
🇧🇪 Belgien
🇧🇪 imec

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