Verbindung für resist- und strahlungsempfindliche Zusammensetzung

EP2808736 Art B1 18. Juli 2018

Anmelder: MITSUBISHI GAS CHEMICAL COMPANY, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2808736
Aktenzeichen: EP14182240
Anmeldetag: 26. Dezember 2005
Veröffentlichung: 18. Juli 2018
Erteilung: 18. Juli 2018
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/039C07C39/15C07C43/205C07C43/23G03F7/004H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: MITSUBISHI GAS CHEMICAL COMPANY, INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Gas Chemical Company

Japanisches Chemieunternehmen der Mitsubishi-Gruppe mit Fokus auf technische Kunststoffe, Methanol und Spezialchemikalien. Der Konzern beliefert unter anderem die Elektronik- und Verpackungsindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Organische Chemie

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