Vorläufer für planares Deprocessing von Halbleiterbauelementen unter Verwendung eines fokussierten Ionenstrahls
EP2808885
Art B1
12. September 2018
Anmelder: FEI COMPANY 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2808885
- Aktenzeichen
- EP14169930
- Anmeldetag
- 27. Mai 2014
- Veröffentlichung
- 12. September 2018
- Erteilung
- 12. September 2018
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/305H01L21/3213
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- FEI COMPANY
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
FEI Company
US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.
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Fachgebiete
Weitere Vertreter
-
Bakker, Hendrik
NoneEindhoven