Verfahren zur Abbildung einer Probe in einer Vorrichtung mit zwei geladenen Teilchenstrahlen
EP2811506
Art B1
6. April 2016
Anmelder: FEI COMPANY 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2811506
- Aktenzeichen
- EP13170553
- Anmeldetag
- 5. Juni 2013
- Veröffentlichung
- 6. April 2016
- Erteilung
- 6. April 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/147
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- FEI COMPANY
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
FEI Company
US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.
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Fachgebiete
Vertreten von
Bakker, Hendrik
Eindhoven, Niederlande
618
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28
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4
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