Halbleiterbauelemente mit Steilem Phosphor-Profil in einer Germaniumschicht

EP2812921 Art B1 16. November 2016

Anmelder: IHP GmbH-Innovations for High Performance Microelectronics / Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2812921
Aktenzeichen
EP13709153
Anmeldetag
11. Februar 2013
Veröffentlichung
16. November 2016
Erteilung
16. November 2016
Rechtsraum
EP
IPC
H01L29/36H01L21/22H01L29/167H01L29/165H01L29/864H01L21/329H01L31/0288H01L31/101H01L31/18H01L33/02H01S5/30H01L33/00H01L33/34H01S5/183
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
IHP GmbH-Innovations for High Performance Microelectronics / Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 IHP – Innovations for High Performance Microelectronics

Deutsches Forschungsinstitut (Leibniz-Institut) mit Sitz in Frankfurt (Oder), das an Hochleistungs-Mikroelektronik forscht, darunter Silizium-Germanium-Technologien und Halbleiterschaltungen für Kommunikations- und Sensoranwendungen.

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