Halbleiterbauelemente mit Steilem Phosphor-Profil in einer Germaniumschicht
EP2812921
Art B1
16. November 2016
Anmelder: IHP GmbH-Innovations for High Performance Microelectronics / Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2812921
- Aktenzeichen
- EP13709153
- Anmeldetag
- 11. Februar 2013
- Veröffentlichung
- 16. November 2016
- Erteilung
- 16. November 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L29/36H01L21/22H01L29/167H01L29/165H01L29/864H01L21/329H01L31/0288H01L31/101H01L31/18H01L33/02H01S5/30H01L33/00H01L33/34H01S5/183
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- IHP GmbH-Innovations for High Performance Microelectronics / Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
IHP – Innovations for High Performance Microelectronics
Deutsches Forschungsinstitut (Leibniz-Institut) mit Sitz in Frankfurt (Oder), das an Hochleistungs-Mikroelektronik forscht, darunter Silizium-Germanium-Technologien und Halbleiterschaltungen für Kommunikations- und Sensoranwendungen.
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Vertreten von
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Eisenführ Speiser · München