Oberflächenwärmebehandlung zur Wiederverwendung von Wafern nach Epitaxialschichtanhebung

EP2812927 Art A2 17. Dezember 2014

Anmelder: The Regents Of The University Of Michigan 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2812927
Aktenzeichen: EP13705339
Anmeldetag: 7. Februar 2013
Veröffentlichung: 17. Dezember 2014
Rechtsraum: EP
IPC: H01L31/18

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: The Regents Of The University Of Michigan
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 The Regents of the University of Michigan

Leitungsgremium der University of Michigan in den USA, das als Patentanmelder für Erfindungen aus der universitären Forschung auftritt. Schwerpunkte sind Medizintechnik, Ingenieurwissenschaften und Life Sciences.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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