Interferometersystem und Verfahren zur Erzeugung eines Interferenzsignals einer Oberfläche einer Probe

EP2813801 Art B1 31. Oktober 2018

Anmelder: Mitutoyo Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2813801
Aktenzeichen: EP13171266
Anmeldetag: 10. Juni 2013
Veröffentlichung: 31. Oktober 2018
Erteilung: 31. Oktober 2018
Rechtsraum: EP
IPC: G01B9/02G02B27/10G02B27/28G02F1/01

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Mitutoyo Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitutoyo Corporation

Mitutoyo ist ein japanischer Hersteller von Präzisionsmessgeräten mit Sitz in Kawasaki. Die Patente betreffen Messtechnik, Koordinatenmessgeräte und Sensorik.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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