Post-Cmp-Beseitigung mittels Zusammensetzungen und Verwendungsverfahren
EP2814895
Art A1
24. Dezember 2014
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2814895
- Aktenzeichen
- EP13749640
- Anmeldetag
- 15. Februar 2013
- Veröffentlichung
- 24. Dezember 2014
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C09K3/14H01L21/306
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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Vertreten von
ABG Patentes, S.L
Madrid, Spanien
2.380
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37
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Schwerpunkte
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-
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