Aza-Polysilan-Vorläufer und Verfahren zur Ablagerung von Filmen damit

EP2818474 Art B1 16. Oktober 2019

Anmelder: Versum Materials US, LLC, AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2818474
Aktenzeichen
EP14174252
Anmeldetag
26. Juni 2014
Veröffentlichung
16. Oktober 2019
Erteilung
16. Oktober 2019
Rechtsraum
EP
IPC
C07F7/10C01B33/04C23C16/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Versum Materials US, LLC
AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Versum Materials US

Versum Materials US, LLC war ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und -gasen für die Halbleiterfertigung, der 2019 von Merck KGaA übernommen wurde. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Oberflächentechnik, ergänzt um Farben, Klebstoffe und organische Chemie. Anmeldungen erfolgten zwischen 2002 und 2025.

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🇺🇸 Air Products

US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.

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