Aza-Polysilan-Vorläufer und Verfahren zur Ablagerung von Filmen damit

EP2818474 Art B1 16. Oktober 2019

Anmelder: Versum Materials US, LLC, AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2818474
Aktenzeichen: EP14174252
Anmeldetag: 26. Juni 2014
Veröffentlichung: 16. Oktober 2019
Erteilung: 16. Oktober 2019
Rechtsraum: EP
IPC: C07F7/10C01B33/04C23C16/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Versum Materials US, LLC
AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Air Products

US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Metallurgie & Oberflächentechnik Organische Chemie

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