Zusammensetzung für chemisch-mechanisches Polieren und Verfahren damit für Kupfer- und Silicium-Durchkontaktierungsanwendungen

EP2818526 Art B1 22. Juni 2016

Anmelder: AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2818526
Aktenzeichen: EP14174709
Anmeldetag: 27. Juni 2014
Veröffentlichung: 22. Juni 2016
Erteilung: 22. Juni 2016
Rechtsraum: EP
IPC: C09G1/02H01L21/321C09K3/14

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Air Products

US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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