Verfahren zur Herstellung von Silikonhaltigen Filmen auf Dünnfilmtransistorvorrichtungen

EP2823083 Art B1 4. Oktober 2023

Anmelder: Versum Materials US, LLC, Air Products and Chemicals, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2823083
Aktenzeichen: EP13711521
Anmeldetag: 8. März 2013
Veröffentlichung: 4. Oktober 2023
Erteilung: 4. Oktober 2023
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/40C23C16/505H01L29/786H01L29/49

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: Versum Materials US, LLC
Air Products and Chemicals, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Versum Materials US

Versum Materials US, LLC war ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und -gasen für die Halbleiterfertigung, der 2019 von Merck KGaA übernommen wurde. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Oberflächentechnik, ergänzt um Farben, Klebstoffe und organische Chemie. Anmeldungen erfolgten zwischen 2002 und 2025.

393 Patente in unserer Datenbank

🇺🇸 Air Products

US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.

1.682 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von