Wafer- und Photomaskeninspektionssysteme und Verfahren zur Auswahl von Beleuchtungspupillenkonfigurationen
EP2823288
Art B1
5. Mai 2021
Anmelder: KLA-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2823288
- Aktenzeichen
- EP13757677
- Anmeldetag
- 1. März 2013
- Veröffentlichung
- 5. Mai 2021
- Erteilung
- 5. Mai 2021
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N21/88H01L21/66G01N21/956
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
495 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Keane, Paul Fachtna
Dublin, Irland
492
Patente gesamt
30
Fachgebiete
16
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
FRKelly
FRKelly · Dublin