Nachweis von Dünnen Linien für Selektive Empfindlichkeit bei Inspektion eines Retikels unter Verwendung von Verarbeiteten Bildern

EP2823354 Art B1 22. Februar 2017

Anmelder: KLA - Tencor Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2823354
Aktenzeichen
EP13757036
Anmeldetag
8. März 2013
Veröffentlichung
22. Februar 2017
Erteilung
22. Februar 2017
Rechtsraum
EP
IPC
G03F1/84G06T7/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
KLA - Tencor Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

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