Nachweis von Dünnen Linien für Selektive Empfindlichkeit bei Inspektion eines Retikels unter Verwendung von Verarbeiteten Bildern
EP2823354
Art B1
22. Februar 2017
Anmelder: KLA - Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2823354
- Aktenzeichen
- EP13757036
- Anmeldetag
- 8. März 2013
- Veröffentlichung
- 22. Februar 2017
- Erteilung
- 22. Februar 2017
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F1/84G06T7/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA - Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
495 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Keane, Paul Fachtna
Dublin, Irland
492
Patente gesamt
30
Fachgebiete
16
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Weitere Vertreter
-
FRKelly
FRKelly · Dublin