Beleuchtungsoptik für die Euv-Projektionslithografie sowie Optisches System mit einer Derartigen Beleuchtungsoptik

EP2823360 Art B1 22. Juni 2022

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2823360
Aktenzeichen: EP13707849
Anmeldetag: 4. März 2013
Veröffentlichung: 22. Juni 2022
Erteilung: 22. Juni 2022
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G02B5/09G02B27/48G02B5/08G02B27/09

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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