Sondenvorrichtung

EP2824467 Art B1 14. September 2016

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2824467
Aktenzeichen: EP14176586
Anmeldetag: 10. Juli 2014
Veröffentlichung: 14. September 2016
Erteilung: 14. September 2016
Rechtsraum: EP
IPC: G01R31/319G01R31/28G01R1/04G01R1/067G01R31/26

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

2.414 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

Vertreten von