Fotovorrichtungsinspektionsvorrichtung und Fotovorrichtungsinspektionsverfahren

EP2824469 Art B1 27. Dezember 2017

Anmelder: SCREEN Holdings Co., Ltd., OSAKA UNIVERSITY 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2824469
Aktenzeichen: EP14176178
Anmeldetag: 8. Juli 2014
Veröffentlichung: 27. Dezember 2017
Erteilung: 27. Dezember 2017
Rechtsraum: EP
IPC: G01R31/40

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: SCREEN Holdings Co., Ltd.
OSAKA UNIVERSITY
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

854 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

Vertreten von