Nach Cmp Rezeptur mit Verbesserter Barriereschichtkompatibilität und Reinigungsleistung

EP2828371 Art A1 28. Januar 2015

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2828371
Aktenzeichen: EP13764299
Anmeldetag: 14. März 2013
Veröffentlichung: 28. Januar 2015
Rechtsraum: EP
IPC: C11D3/28H01L21/304C11D3/30C11D3/60C11D3/00C11D11/00C11D7/26C11D7/32C11D7/34

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🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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