Verfahren und Vorrichtung zur Spektrallumineszenzmessung
EP2828628
Art A1
28. Januar 2015
Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2828628
- Aktenzeichen
- EP13765167
- Anmeldetag
- 19. März 2013
- Veröffentlichung
- 28. Januar 2015
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01J1/58G01N21/64G01N21/66
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kla-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
1.908 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Keane, Paul Fachtna
Dublin, Irland
492
Patente gesamt
30
Fachgebiete
16
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Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
FRKelly
FRKelly · Dublin