Vakuumpumpe

EP2829734 Art B1 5. September 2018

Anmelder: PFEIFFER VACUUM GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2829734
Aktenzeichen
EP14176553
Anmeldetag
10. Juli 2014
Veröffentlichung
5. September 2018
Erteilung
5. September 2018
Rechtsraum
EP
IPC
F04D19/04F04D29/52F04D25/06
Offizieller Volltext

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe mit einem Pumpeneinlass, einem Pumpenauslass, einem um eine Rotationsachse drehbaren Rotor, wenigstens einer Prozessgaspumpstufe zur Förderung eines an dem Pumpeneinlass anstehenden Prozessgases von dem Pumpeneinlass zu dem Pumpenauslass, einem Motorraum und einem in dem Motorraum angeordneten und zum drehenden Antreiben des Rotors ausgebildeten Antriebsmotor, welcher einen Motorstator umfasst, wobei wenigstens ein Gasweg für das Prozessgas von dem Pumpeneinlass zu dem Pumpenauslass vorgesehen ist, der durch den Motorraum führt und zumindest abschnittsweise an dem Motorstator entlang oder durch den Motorstator hindurch führt.

Anmelder

Firma
PFEIFFER VACUUM GMBH
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Pfeiffer Vacuum

Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.

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