Vorrichtung zum Entfernen einer Beschichtung von einem Substrat und Verfahren
EP2831910
Art B1
10. November 2021
Anmelder: Solar-Semi GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2831910
- Aktenzeichen
- EP13717727
- Anmeldetag
- 26. März 2013
- Veröffentlichung
- 10. November 2021
- Erteilung
- 10. November 2021
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/67
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Solar-Semi GmbH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland