Partikelkontaminationsmessverfahren und -Vorrichtung
EP2834709
Art B1
27. Mai 2020
Anmelder: ASML Netherlands B.V., TNO 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2834709
- Aktenzeichen
- EP13713438
- Anmeldetag
- 28. März 2013
- Veröffentlichung
- 27. Mai 2020
- Erteilung
- 27. Mai 2020
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- ASML Netherlands B.V.
TNO - Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
3.336 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Slenders, Petrus Johannes Waltherus
Eindhoven, Niederlande
244
Patente gesamt
17
Fachgebiete
2
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
ASML Netherlands B.V
ASML Netherlands B.V · Veldhoven
-
Slenders, Petrus J. W
NoneEindhoven