Systeme und Verfahren zur Probenuntersuchung und Bewertung
EP2836823
Art B1
25. August 2021
Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2836823
- Aktenzeichen
- EP13775290
- Anmeldetag
- 8. April 2013
- Veröffentlichung
- 25. August 2021
- Erteilung
- 25. August 2021
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N21/88H01L21/66G01N21/95
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kla-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
1.908 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Keane, Paul Fachtna
Dublin, Irland
492
Patente gesamt
30
Fachgebiete
16
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
FRKelly
FRKelly · Dublin