Anordnung einer Retikelpositionierungsvorrichtung zur Strahlenuntersuchung von Euv-Retikeln
EP2836874
Art B1
1. August 2018
Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2836874
- Aktenzeichen
- EP13775812
- Anmeldetag
- 10. April 2013
- Veröffentlichung
- 1. August 2018
- Erteilung
- 1. August 2018
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F1/84G03B27/62G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kla-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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Fachgebiete
Vertreten von
Keane, Paul Fachtna
Dublin, Irland
492
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FRKelly · Dublin