Verfahren zum räumlich hochauflösenden Abbilden einer Struktur einer Probe

EP2837929 Art A3 8. Juli 2015

Anmelder: Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2837929
Aktenzeichen: EP14190721
Anmeldetag: 27. April 2007
Veröffentlichung: 8. Juli 2015
Rechtsraum: EP
IPC: G01N21/64G02B27/58G02B21/16G02B21/36

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Max-Planck-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Die Max-Planck-Gesellschaft betreibt zahlreiche Institute für Grundlagenforschung in Natur-, Geistes- und Sozialwissenschaften.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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